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受惠於台積電、三星、英特爾及美光等大客戶，積極擴充高階半體製程，電子束檢測設備廠漢微科（3658）今年首季交出亮麗成績單，毛利率衝上70%，EPS達4.57元。漢微科總經理招允佳昨（2）日表示，對產業景氣展望相當樂觀，在手訂單交期已排到半年後。

興櫃設備廠股王漢微科5月21日掛牌上櫃，暫訂承銷價為每股200元，為半導體設備高價族群再添一新兵。漢微科昨天興櫃參考價為284.5元。

招允佳表示，行動裝置等消費性電子市場持續成長，帶動高階半導製程的需求暢旺，漢微科能提供高效率的電子束檢測設備，成為半導體晶圓廠製程中不可或缺的一環。漢微科年產檢測設備約30台，正擴充產能，朝年產50台目標邁進。

招允佳說，漢微科為拉大與競爭者間的差距，已投入矩陣式電子束檢測設備的開發，2014年即可量產上市，屆時檢測速度可大幅提高。另外，在封裝段的2.5DIC的檢測設備，也將在一至二年內推出。

法人指出，漢微科產品多屬半導前段製程用的高價設備，單價都從500萬美元（約合新台幣1.46億元）起跳。

漢微科受惠於半導體製程縮微趨勢，去年獲利大增1.6倍。去年營收26.77億元，稅後純益6.54億元，每股盈餘10.87元，名列半導體設備族群獲利表現前茅。漢微科首季在先進製程需求帶動下，營收9.14億元，較去年第4季8.7億元成長。

<擷錄經濟>

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